VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after 2h 380 C in air
1
 
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after 2h 380 C in air
2003
5
7
23
4
21
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
52
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
2752
0.102101
0.103739
328
0.103739
307
0.103731
318
0.103723
291
0.103715
311
0.103706
302
0.103698
324
0.10369
356
0.103681
345
0.103673
298
0.103665
321
0.103656
312
0.103648
325
0.10364
349
0.103631
293
0.103623
330
0.103615
319
0.103607
286
0.103598
300
0.10359
314
0.103582
347
0.103573
335
0.103565
287
0.103557
285
0.103549
281
0.10354
290
0.103532
304
0.103524
306
0.103515
316
0.103507
307
0.103499
317
0.103491
290
0.103482
290
0.103474
340
0.103466
276
0.103457
314
0.103449
306
0.103441
314
0.103433
312
0.103424
310
0.103416
302
0.103408
295
0.1034
389
0.103391
376
0.103383
376
0.103375
405
0.103367
467
0.103358
498
0.10335
528
0.103342
580
0.103333
626
0.103325
682
0.103317
734
0.103309
837
0.1033
861
0.103292
957
0.103284
1020
0.103276
1106
0.103267
1177
0.103259
1325
0.103251
1367
0.103243
1478
0.103235
1560
0.103226
1684
0.103218
1743
0.10321
1909
0.103202
2056
0.103193
2223
0.103185
2289
0.103177
2451
0.103169
2552
0.10316
2676
0.103152
2649
0.103144
2648
0.103136
2752
0.103127
2738
0.103119
2704
0.103111
2619
0.103103
2443
0.103095
2369
0.103086
2075
0.103078
1807
0.10307
1678
0.103062
1405
0.103054
1228
0.103045
981
0.103037
933
0.103029
796
0.103021
712
0.103012
619
0.103004
641
0.102996
615
0.102988
619
0.10298
729
0.102971
921
0.102963
1006
0.102955
1225
0.102947
1369
0.102939
1475
0.10293
1753
0.102922
1885
0.102914
1924
0.102906
1959
0.102898
2019
0.102889
2061
0.102881
2072
0.102873
1987
0.102865
1966
0.102857
1674
0.102849
1528
0.10284
1248
0.102832
1033
0.102824
860
0.102816
655
0.102808
564
0.102799
351
0.102791
344
0.102783
266
0.102775
233
0.102767
241
0.102759
167
0.10275
155
0.102742
160
0.102734
150
0.102726
153
0.102718
145
0.10271
107
0.102701
108
0.102693
112
0.102685
121
0.102677
111
0.102669
136
0.102661
112
0.102653
116
0.102644
127
0.102636
117
0.102628
143
0.10262
157
0.102612
108
0.102604
117
0.102595
132
0.102587
91
0.102579
85
0.102571
72
0.102563
45
0.102555
86
0.102547
107
0.102538
75
0.10253
104
0.102522
99
0.102514
94
0.102506
62
0.102498
87
0.10249
77
0.102482
90
0.102473
114
0.102465
76
0.102457
106
0.102449
77
0.102441
62
0.102433
70
0.102425
49
0.102417
75
0.102408
72
0.1024
78
0.102392
43
0.102384
44
0.102376
78
0.102368
62
0.10236
55
0.102352
45
0.102344
39
0.102335
75
0.102327
13
0.102319
62
0.102311
58
0.102303
70
0.102295
76
0.102287
81
0.102279
56
0.102271
58
0.102263
20
0.102254
74
0.102246
50
0.102238
32
0.10223
43
0.102222
35
0.102214
41
0.102206
38
0.102198
74
0.10219
34
0.102182
35
0.102174
16
0.102165
32
0.102157
65
0.102149
20
0.102141
13
0.102133
0
0.102125
52
0.102117
25
0.102109
37
0.102101
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after 2h 380 C in air
2003
5
7
23
4
21
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
30
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
98
1723
0.100353
0.10194
285
0.10194
255
0.101932
263
0.101924
274
0.101916
288
0.101907
275
0.101899
279
0.101891
270
0.101883
289
0.101875
277
0.101867
296
0.101859
292
0.101851
276
0.101843
282
0.101835
270
0.101827
295
0.101819
320
0.101811
289
0.101803
317
0.101795
303
0.101787
280
0.101779
317
0.101771
321
0.101763
291
0.101755
314
0.101747
335
0.101739
320
0.101731
330
0.101723
325
0.101715
302
0.101707
359
0.101699
338
0.101691
346
0.101683
392
0.101675
358
0.101667
370
0.101659
397
0.101651
409
0.101643
416
0.101635
396
0.101627
432
0.101619
430
0.101611
401
0.101603
420
0.101595
424
0.101587
434
0.101579
491
0.101571
475
0.101563
495
0.101555
536
0.101547
506
0.101539
535
0.101531
589
0.101523
548
0.101515
574
0.101507
625
0.101499
594
0.101491
618
0.101483
612
0.101475
592
0.101467
646
0.101459
638
0.101451
657
0.101443
636
0.101435
669
0.101427
711
0.101419
683
0.101411
686
0.101403
697
0.101395
677
0.101387
717
0.101379
625
0.101371
669
0.101363
616
0.101355
611
0.101347
632
0.101339
609
0.101331
592
0.101323
576
0.101315
584
0.101308
568
0.1013
596
0.101292
650
0.101284
717
0.101276
723
0.101268
804
0.10126
890
0.101252
926
0.101244
1120
0.101236
1216
0.101228
1349
0.10122
1499
0.101212
1575
0.101204
1706
0.101196
1717
0.101188
1685
0.10118
1723
0.101172
1720
0.101165
1649
0.101157
1547
0.101149
1449
0.101141
1328
0.101133
1220
0.101125
1057
0.101117
1012
0.101109
837
0.101101
750
0.101093
610
0.101085
599
0.101077
495
0.101069
392
0.101061
369
0.101054
303
0.101046
262
0.101038
228
0.10103
178
0.101022
213
0.101014
168
0.101006
166
0.100998
159
0.10099
143
0.100982
165
0.100974
131
0.100967
121
0.100959
128
0.100951
123
0.100943
105
0.100935
121
0.100927
111
0.100919
120
0.100911
125
0.100903
135
0.100895
123
0.100888
118
0.10088
110
0.100872
100
0.100864
121
0.100856
105
0.100848
116
0.10084
118
0.100832
98
0.100824
106
0.100817
124
0.100809
129
0.100801
137
0.100793
114
0.100785
140
0.100777
135
0.100769
125
0.100761
132
0.100754
147
0.100746
126
0.100738
164
0.10073
156
0.100722
135
0.100714
166
0.100706
162
0.100698
185
0.100691
188
0.100683
188
0.100675
207
0.100667
210
0.100659
204
0.100651
222
0.100643
234
0.100636
231
0.100628
191
0.10062
233
0.100612
209
0.100604
224
0.100596
222
0.100588
204
0.100581
196
0.100573
221
0.100565
213
0.100557
198
0.100549
182
0.100541
182
0.100533
170
0.100526
175
0.100518
162
0.10051
180
0.100502
171
0.100494
166
0.100486
179
0.100479
173
0.100471
191
0.100463
166
0.100455
186
0.100447
192
0.100439
192
0.100432
188
0.100424
225
0.100416
236
0.100408
214
0.1004
228
0.100393
207
0.100385
247
0.100377
256
0.100369
224
0.100361
235
0.100353
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after 2h 380 C in air
2003
5
7
23
4
23
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
84
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
3763
0.104746
0.106466
91
0.106466
121
0.106457
100
0.106448
142
0.10644
142
0.106431
129
0.106422
129
0.106414
156
0.106405
148
0.106396
123
0.106387
180
0.106379
150
0.10637
149
0.106361
108
0.106353
113
0.106344
92
0.106335
182
0.106326
108
0.106318
143
0.106309
100
0.1063
54
0.106292
150
0.106283
148
0.106274
110
0.106265
152
0.106257
108
0.106248
103
0.106239
127
0.106231
81
0.106222
159
0.106213
107
0.106205
112
0.106196
35
0.106187
136
0.106179
104
0.10617
123
0.106161
85
0.106153
54
0.106144
12
0.106135
92
0.106126
148
0.106118
101
0.106109
144
0.1061
106
0.106092
95
0.106083
92
0.106074
83
0.106066
143
0.106057
65
0.106048
85
0.10604
65
0.106031
162
0.106022
65
0.106014
80
0.106005
59
0.105996
78
0.105988
102
0.105979
67
0.105971
87
0.105962
128
0.105953
93
0.105945
104
0.105936
71
0.105927
131
0.105919
177
0.10591
83
0.105901
105
0.105893
109
0.105884
91
0.105875
127
0.105867
91
0.105858
130
0.105849
127
0.105841
173
0.105832
130
0.105824
206
0.105815
203
0.105806
191
0.105798
202
0.105789
324
0.10578
427
0.105772
291
0.105763
599
0.105755
708
0.105746
900
0.105737
1057
0.105729
1391
0.10572
1598
0.105712
1721
0.105703
2065
0.105694
2444
0.105686
2649
0.105677
2951
0.105668
3147
0.10566
3480
0.105651
3559
0.105643
3529
0.105634
3763
0.105625
3462
0.105617
3361
0.105608
3175
0.1056
2840
0.105591
2564
0.105582
2200
0.105574
1736
0.105565
1538
0.105557
1150
0.105548
881
0.105539
762
0.105531
506
0.105522
405
0.105514
309
0.105505
266
0.105497
193
0.105488
198
0.105479
118
0.105471
83
0.105462
80
0.105454
48
0.105445
97
0.105437
42
0.105428
164
0.105419
89
0.105411
98
0.105402
19
0.105394
146
0.105385
104
0.105377
109
0.105368
98
0.105359
80
0.105351
109
0.105342
138
0.105334
0
0.105325
165
0.105317
119
0.105308
116
0.1053
100
0.105291
73
0.105282
16
0.105274
193
0.105265
161
0.105257
133
0.105248
136
0.10524
76
0.105231
109
0.105223
152
0.105214
111
0.105206
189
0.105197
156
0.105188
128
0.10518
157
0.105171
158
0.105163
127
0.105154
107
0.105146
178
0.105137
141
0.105129
148
0.10512
211
0.105112
131
0.105103
189
0.105095
175
0.105086
129
0.105078
150
0.105069
214
0.105061
197
0.105052
317
0.105044
198
0.105035
158
0.105027
191
0.105018
202
0.10501
169
0.105001
177
0.104993
248
0.104984
185
0.104976
202
0.104967
230
0.104959
138
0.10495
291
0.104942
212
0.104933
270
0.104925
196
0.104916
255
0.104908
234
0.104899
162
0.104891
273
0.104882
276
0.104874
212
0.104865
241
0.104857
253
0.104848
202
0.10484
217
0.104831
203
0.104823
295
0.104814
205
0.104806
276
0.104797
322
0.104789
249
0.10478
197
0.104772
262
0.104763
227
0.104755
231
0.104746
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after 2h 380 C in air
2003
5
7
23
4
23
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
295
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
3351
0.125986
0.128421
600
0.128421
553
0.128408
451
0.128396
423
0.128383
527
0.128371
499
0.128359
556
0.128346
569
0.128334
500
0.128321
481
0.128309
534
0.128297
514
0.128284
404
0.128272
616
0.12826
518
0.128247
466
0.128235
404
0.128223
505
0.12821
487
0.128198
443
0.128185
582
0.128173
547
0.128161
611
0.128148
535
0.128136
516
0.128124
534
0.128111
493
0.128099
556
0.128087
599
0.128074
536
0.128062
613
0.12805
535
0.128037
442
0.128025
430
0.128013
592
0.128
512
0.127988
389
0.127976
601
0.127963
545
0.127951
543
0.127939
555
0.127927
526
0.127914
640
0.127902
660
0.12789
391
0.127877
518
0.127865
695
0.127853
636
0.12784
571
0.127828
655
0.127816
605
0.127804
667
0.127791
655
0.127779
550
0.127767
681
0.127755
641
0.127742
705
0.12773
769
0.127718
757
0.127705
717
0.127693
781
0.127681
768
0.127669
707
0.127656
748
0.127644
726
0.127632
571
0.12762
799
0.127607
630
0.127595
703
0.127583
567
0.127571
731
0.127558
692
0.127546
640
0.127534
609
0.127522
771
0.127509
736
0.127497
717
0.127485
767
0.127473
723
0.127461
913
0.127448
735
0.127436
953
0.127424
779
0.127412
957
0.127399
971
0.127387
924
0.127375
1003
0.127363
1118
0.127351
1226
0.127338
1337
0.127326
1417
0.127314
1589
0.127302
1811
0.12729
2184
0.127277
2397
0.127265
2524
0.127253
2903
0.127241
2941
0.127229
3192
0.127217
3351
0.127204
3285
0.127192
3090
0.12718
3161
0.127168
2916
0.127156
2729
0.127144
2442
0.127131
2153
0.127119
1859
0.127107
1500
0.127095
1337
0.127083
1091
0.127071
936
0.127058
973
0.127046
703
0.127034
732
0.127022
628
0.12701
503
0.126998
452
0.126986
506
0.126973
541
0.126961
590
0.126949
436
0.126937
483
0.126925
556
0.126913
411
0.126901
382
0.126889
395
0.126876
382
0.126864
396
0.126852
440
0.12684
451
0.126828
341
0.126816
513
0.126804
435
0.126792
493
0.12678
522
0.126768
307
0.126755
633
0.126743
450
0.126731
324
0.126719
356
0.126707
549
0.126695
509
0.126683
445
0.126671
458
0.126659
443
0.126647
292
0.126635
486
0.126622
372
0.12661
332
0.126598
413
0.126586
399
0.126574
255
0.126562
496
0.12655
286
0.126538
356
0.126526
303
0.126514
363
0.126502
278
0.12649
182
0.126478
334
0.126466
375
0.126454
210
0.126442
213
0.12643
267
0.126418
208
0.126406
151
0.126394
271
0.126381
239
0.126369
122
0.126357
252
0.126345
239
0.126333
122
0.126321
194
0.126309
155
0.126297
32
0.126285
172
0.126273
226
0.126261
218
0.126249
112
0.126237
118
0.126225
52
0.126213
153
0.126201
224
0.126189
205
0.126177
115
0.126165
177
0.126153
108
0.126141
105
0.126129
95
0.126117
45
0.126105
178
0.126093
0
0.126081
162
0.126069
103
0.126058
139
0.126046
146
0.126034
59
0.126022
113
0.12601
63
0.125998
153
0.125986
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_2 after 2h 380 C in air
2003
5
7
23
4
23
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
542
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
11025
0.163751
0.167745
718
0.167745
664
0.167724
630
0.167704
595
0.167684
615
0.167663
566
0.167643
492
0.167622
663
0.167602
684
0.167582
512
0.167561
452
0.167541
640
0.167521
544
0.1675
624
0.16748
657
0.167459
476
0.167439
423
0.167419
446
0.167398
607
0.167378
523
0.167358
628
0.167337
542
0.167317
660
0.167297
474
0.167276
495
0.167256
468
0.167236
590
0.167216
266
0.167195
433
0.167175
462
0.167155
335
0.167134
580
0.167114
567
0.167094
480
0.167074
557
0.167053
418
0.167033
239
0.167013
404
0.166992
424
0.166972
326
0.166952
287
0.166932
544
0.166911
346
0.166891
288
0.166871
312
0.166851
435
0.166831
509
0.16681
352
0.16679
271
0.16677
154
0.16675
357
0.16673
346
0.166709
381
0.166689
297
0.166669
116
0.166649
384
0.166629
397
0.166609
270
0.166588
258
0.166568
215
0.166548
341
0.166528
311
0.166508
250
0.166488
255
0.166467
316
0.166447
149
0.166427
364
0.166407
329
0.166387
193
0.166367
292
0.166347
368
0.166327
316
0.166307
394
0.166286
279
0.166266
342
0.166246
436
0.166226
616
0.166206
678
0.166186
642
0.166166
612
0.166146
841
0.166126
778
0.166106
908
0.166086
956
0.166066
1056
0.166046
1370
0.166026
1668
0.166006
1829
0.165986
1999
0.165966
2442
0.165946
2781
0.165926
2896
0.165906
3291
0.165886
3894
0.165866
4378
0.165846
4751
0.165826
5222
0.165806
5849
0.165786
6404
0.165766
7203
0.165746
7596
0.165726
8488
0.165706
9112
0.165686
9541
0.165666
9900
0.165646
10417
0.165626
10843
0.165606
11025
0.165586
10625
0.165566
10800
0.165546
10454
0.165526
9819
0.165506
9654
0.165486
8746
0.165467
7954
0.165447
7313
0.165427
6249
0.165407
5368
0.165387
4728
0.165367
3871
0.165347
3205
0.165327
2628
0.165307
2032
0.165288
1688
0.165268
1400
0.165248
1089
0.165228
895
0.165208
665
0.165188
579
0.165168
641
0.165149
380
0.165129
326
0.165109
323
0.165089
188
0.165069
228
0.165049
235
0.16503
260
0.16501
411
0.16499
255
0.16497
53
0.16495
278
0.164931
258
0.164911
110
0.164891
91
0.164871
153
0.164852
96
0.164832
195
0.164812
290
0.164792
123
0.164773
129
0.164753
254
0.164733
17
0.164713
147
0.164694
194
0.164674
133
0.164654
110
0.164634
174
0.164615
135
0.164595
162
0.164575
33
0.164556
39
0.164536
205
0.164516
156
0.164496
199
0.164477
342
0.164457
124
0.164437
167
0.164418
236
0.164398
248
0.164378
162
0.164359
23
0.164339
239
0.164319
138
0.1643
243
0.16428
277
0.164261
226
0.164241
249
0.164221
330
0.164202
148
0.164182
149
0.164162
0
0.164143
115
0.164123
107
0.164104
192
0.164084
36
0.164064
215
0.164045
250
0.164025
293
0.164006
80
0.163986
128
0.163966
177
0.163947
147
0.163927
283
0.163908
221
0.163888
230
0.163869
147
0.163849
263
0.16383
197
0.16381
189
0.163791
304
0.163771
147
0.163751
end of experiment
